Wiaux, VincentVincentWiauxWong, PatrickPatrickWongVandenbroeck, NadiaNadiaVandenbroeckBekaert, JoostJoostBekaertLaenens, BartBartLaenensDe Bisschop, PeterPeterDe BisschopVersluijs, JankoJankoVersluijsVandenberghe, GeertGeertVandenberghe2021-10-192021-10-192010https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/18351Multiple patterning...various keys for scalingProceedings paper