van Zutphen, A. J. M. M.A. J. M. M.van ZutphenZeman, M.M.ZemanMetselaar, J. W.J. W.Metselaarvon Keitz, A.A.von KeitzTool, C. J. J.C. J. J.ToolBeaucarne, GuyGuyBeaucarnePoortmans, JefJefPoortmans2021-10-142021-10-142000https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/4859Proceedings paper