Henson, KirklenKirklenHensonLander, RobRobLanderDemand, MarcMarcDemandDachs, CharlesCharlesDachsKaczer, BenBenKaczerDeweerd, WimWimDeweerdSchram, TomTomSchramTokei, ZsoltZsoltTokeiHooker, JacobJacobHookerCubaynes, FlorenceFlorenceCubaynesBeckx, StephanStephanBeckxBoullart, WernerWernerBoullartCoenegrachts, BartBartCoenegrachtsVertommen, JohanJohanVertommenRichard, OlivierOlivierRichardBender, HugoHugoBenderVandervorst, WilfriedWilfriedVandervorstKaiser, M.M.KaiserEveraert, Jean-LucJean-LucEveraertJurczak, GosiaGosiaJurczakBiesemans, SergeSergeBiesemans2021-10-152021-10-152004https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/902745nm nMOSFET with metal gate on thin SiON driving 1150μA/μm and off-state of 10nA/μmProceedings paper