Witters, LiesbethLiesbethWittersVeloso, AnabelaAnabelaVelosoFerain, IsabelleIsabelleFerainDemand, MarcMarcDemandCollaert, NadineNadineCollaertSon, Nak JinNak JinSonAdelmann, ChristophChristophAdelmannMeersschaut, JohanJohanMeersschautVos, RitaRitaVosRohr, ErikaErikaRohrWada, MasayukiMasayukiWadaSchram, TomTomSchramKubicek, StefanStefanKubicekDe Meyer, KristinKristinDe MeyerBiesemans, SergeSergeBiesemansJurczak, GosiaGosiaJurczak2021-10-172021-10-172008https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/14790Multiple-Vt FinFET devices through La2O3 dielectric cappingProceedings paper