Delabie, AnneliesAnneliesDelabiePuurunen, R.R.PuurunenBrijs, BertBertBrijsCaymax, MattyMattyCaymaxConard, ThierryThierryConardOnsia, BartBartOnsiaRichard, OlivierOlivierRichardVandervorst, WilfriedWilfriedVandervorstZhao, ChaoChaoZhaoHeyns, MarcMarcHeynsMeuris, MarcMarcMeurisViitanan, Minna M.Minna M.ViitananBrongersma, Hidde H.Hidde H.BrongersmaDe Ridder, M.M.De RidderGoncharova, L.L.GoncharovaGarfunkel, EricEricGarfunkelGustafsson, TorgnyTorgnyGustafssonTsai, WilmanWilmanTsai2021-10-162021-10-162005https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/10366Journal article