Sabatier, ClementClementSabatierRack, SimonSimonRackBeseaucèle, HerveHerveBeseaucèleVenturini, JulienJulienVenturiniHoffmann, Thomas Y.Thomas Y.HoffmannRosseel, ErikErikRosseelSteenbergen, JohnnyJohnnySteenbergen2021-10-172021-10-172008https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/14408Laser annealing of double implanted layers for IGBT power devicesProceedings paper