Bekaert, JoostJoostBekaertVan Look, LieveLieveVan LookDe Bisschop, PeterPeterDe BisschopVan de Kerkhove, JeroenJeroenVan de KerkhoveVandenberghe, GeertGeertVandenbergheSchreel, K.K.SchreelMenger, J.J.MengerSchiffelers, G.G.SchiffelersKnols, E.E.Knolsvan der Laan, H.H.van der LaanWillekers, R.R.Willekers2021-10-172021-10-172008https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/13364Experimental proximity matching of ArF scannersProceedings paper