Karakaya, KorayKorayKarakayaRenaud, MichaelMichaelRenaudGoedbloed, MartijnMartijnGoedbloedVullers, RuudRuudVullers2021-10-162021-10-162007https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/12385Effect of built-in stress level of piezoelectric AlN thin films on the properties of vibrational energy harvestersProceedings paper