Holländer, B.B.HolländerBuca, D.D.BucaMörschbächer, M.M.MörschbächerLenk, St.St.LenkMantl, S.S.MantlHerzog, H.J.H.J.HerzogHackbarth, Th.Th.HackbarthLoo, RogerRogerLooCaymax, MattyMattyCaymaxFichtner, P.F.P.P.F.P.Fichtner2021-10-152021-10-152004https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/9041Strain relaxation of pseudomorphic Si1-xGe/Si(100) heterostructures after Si+ ion implantationJournal article