Vandervorst, WilfriedWilfriedVandervorstAlay, Josep LluisJosep LluisAlayBrijs, BertBertBrijsDe Coster, WalterWalterDe CosterElst, KathyKathyElst2021-09-292021-09-291994https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/416Depth profiling with oxygen beamsProceedings paper