Hens, S.S.HensBender, HugoHugoBenderDonaton, R. A.R. A.DonatonMaex, KarenKarenMaexVanhaelemeersch, SergeSergeVanhaelemeerschVan Landuyt, J.J.Van Landuyt2021-10-142021-10-142001https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/5338EFTEM study of plasma etched low-k Si-O-C dielectricsProceedings paper