Heyns, MarcMarcHeynsBeckx, StephanStephanBeckxCaymax, MattyMattyCaymaxChen, J.J.ChenClaes, MartineMartineClaesCoenegrachts, BartBartCoenegrachtsDe Gendt, StefanStefanDe GendtDegraeve, R.R.DegraeveDelabie, AnneliesAnneliesDelabieDeweerd, WimWimDeweerdGroeseneken, GuidoGuidoGroesenekenHayashi, ShigenoriShigenoriHayashiHenson, KirklenKirklenHensonHooker, JacobJacobHookerHoussa, MichelMichelHoussaKauerauf, ThomasThomasKaueraufKerber, A.A.KerberKwak, Dong HwaDong HwaKwakLander, RobRobLanderLujan, GuilhermeGuilhermeLujanNiwa, MasaakiMasaakiNiwaPantisano, LuigiLuigiPantisanoPuurunen, RiikkaRiikkaPuurunenRagnarsson, Lars-AkeLars-AkeRagnarssonRohr, ErikaErikaRohrSchram, TomTomSchramShimamoto, Y.Y.ShimamotoTsai, WilmanWilmanTsaiVan Elshocht, SvenSvenVan ElshochtVertommen, JohanJohanVertommenVandervorst, WilfriedWilfriedVandervorstKubicek, StefanStefanKubicek2021-10-152021-10-152004https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/9028Scaling of Hf-based high-k dielectricsMeeting abstract