Van der Donck, TomTomVan der DonckProost, JorisJorisProostRusu, CristinaCristinaRusuBaert, KrisKrisBaertVan Hoof, ChrisChrisVan HoofCelis, Jean-PierreJean-PierreCelisWitvrouw, AnnAnnWitvrouw2021-10-152021-10-152004-01https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/9728Effect of deposition parameters on the stress gradient of CVD and PECVD poly-SiGe for MEMS applicationsProceedings paper