Jenei, SnezanaSnezanaJeneiDecoutere, StefaanStefaanDecoutereWinderickx, GillisGillisWinderickxStruyf, HerbertHerbertStruyfTokei, ZsoltZsoltTokeiVervoort, IwanIwanVervoortVos, I.I.VosJaenen, PatrickPatrickJaenenCarbonell, LaureLaureCarbonellDe Jaeger, BriceBriceDe JaegerDonaton, R. A.R. A.DonatonVanhaelemeersch, SergeSergeVanhaelemeerschMaex, KarenKarenMaexNauwelaers, BartBartNauwelaers2021-10-142021-10-142001https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/5374High Q inductor add-on module in thick Cu/SiLK/sup TM/ single damasceneProceedings paper