Trenkler, ThomasThomasTrenklerHantschel, ThomasThomasHantschelStephenson, RobertRobertStephensonDe Wolf, PeterPeterDe WolfHellemans, L.L.HellemansVandervorst, WilfriedWilfriedVandervorstMalavé, A.A.MalavéBüchel, D.D.BüchelOesterschulze, E.E.OesterschulzeKulisch, W.W.KulischNiedermann, P.P.NiedermannSulzbach, T.T.SulzbachOhlsson, O.O.Ohlsson2021-10-142021-10-141999https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/3890Evaluating probes for "electrical" atomic force microscopyProceedings paper