Untersuchung der Anreicherung von Germanium in heliumimplantierten SiGe/Si-Heterostrukturen durch Oxidation

Hueging, N.N.HuegingLuysberg, M.M.LuysbergBuca, D.D.BucaHollander, B.B.HollanderMantl, S.S.MantlLoo, RogerRogerLooCaymax, MattyMattyCaymaxUrban, K.K.Urban2021-10-162021-10-162005https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/10622Untersuchung der Anreicherung von Germanium in heliumimplantierten SiGe/Si-Heterostrukturen durch OxidationProceedings paper