Scheurle, A.A.ScheurleFuchs, T.T.FuchsKehr, K.K.KehrLeinenbach, C.C.LeinenbachKronmueller, S.S.KronmuellerArias, A.A.AriasCeballos, J.J.CeballosLagos, M.A.M.A.LagosMora, J.-M.J.-M.MoraMunoz, J.M.J.M.MunozRagel, A.A.RagelRamos, J.J.RamosVan Aerde, StevenStevenVan AerdeSpengler, J.J.SpenglerMehta, AnshuAnshuMehtaVerbist, AgnesAgnesVerbistDu Bois, BertBertDu BoisWitvrouw, AnnAnnWitvrouw2021-10-162021-10-162007-01https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/12854A 10 μm thick poly-SiGe gyroscope processed above 0.35 μm CMOSProceedings paper