Maenhoudt, MireilleMireilleMaenhoudtVerhaegen, StafStafVerhaegenRonse, KurtKurtRonseZandbergen, PeterPeterZandbergenMuzio, E.E.Muzio2021-10-142021-10-142000https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/4547Limits of optical lithographyProceedings paper