Witvrouw, AnnAnnWitvrouwSeveri, SimoneSimoneSeveriHelin, PhilippePhilippeHelinHaspeslagh, LucLucHaspeslagh2021-10-192021-10-192010?https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/18363La tecnologia SiGe per i MEMSJournal article