Fang, WeipingWeipingFangArikati, SriniSriniArikatiCelingir, ErdemErdemCelingirHug, Marco A.Marco A.HugDe Bisschop, PeterPeterDe BisschopMailfert, JulienJulienMailfertLucas, KevinKevinLucasGao, WeiminWeiminGao2021-10-222021-10-222014https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/23803A fast triple patterning solution with fix guidanceProceedings paperhttp://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?articleid=1855794