Waeterloos, JoostJoostWaeterloosStruyf, HerbertHerbertStruyfVan Aelst, JokeJokeVan AelstCastillo, D. W.D. W.CastilloLucero, S.S.LuceroCaluwaerts, RudyRudyCaluwaertsAlaerts, CarineCarineAlaertsMannaert, GeertGeertMannaertBoullart, WernerWernerBoullartSleeckx, ErikErikSleeckxSchaekers, MarcMarcSchaekersTokei, ZsoltZsoltTokeiVervoort, IwanIwanVervoortSteenbergen, JohnnyJohnnySteenbergenSijmus, BramBramSijmusVos, I.I.VosMeuris, MarcMarcMeurisIacopi, FrancescaFrancescaIacopiDonaton, RRDonaton2021-10-142021-10-142001https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/5827Integration feasibility of porous SiLK semiconductor dielectricProceedings paper