Horzel, J.J.HorzelSchum, B.B.SchumLachowicz, A.A.LachowiczRossa, J.J.RossaVaas, K.K.VaasJahn, M.M.JahnGassenbauer, Y.Y.Gassenbauervon Campe, H.H.von CampeBoubekeur, H.H.BoubekeurBlendin, G.G.BlendinWeber, U.U.WeberSeidl, A.A.SeidlArmigliato, A.A.ArmigliatoSeidel, F.F.SeidelHantschel, ThomasThomasHantschelEyben, PierrePierreEybenVinzelberg, S.S.VinzelbergGerstl, S.S.A.S.S.A.GerstlSchmidt, W.W.Schmidt2021-10-182021-10-182010https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/17278On anomalous emitter regions forming during phosphorous diffusion processing of crystalline silicon solar cellsProceedings paper