Determination par EDS de l'épaisseur et de la composition de films minces multicouches pour applications nanoélectroniques

Franquet, AlexisAlexisFranquetConard, ThierryThierryConardGilbert, MatthieuMatthieuGilbertHantschel, ThomasThomasHantschelVandervorst, WilfriedWilfriedVandervorst2021-10-202021-10-202012https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/20694Determination par EDS de l'épaisseur et de la composition de films minces multicouches pour applications nanoélectroniquesMeeting abstract