Adelmann, ChristophChristophAdelmannPierreux, DieterDieterPierreuxSwerts, JohanJohanSwertsRosseel, ErikErikRosseelShi, XiaopingXiaopingShiTielens, HildeHildeTielensKesters, JurgenJurgenKestersVan Elshocht, SvenSvenVan ElshochtKittl, JorgeJorgeKittl2021-10-172021-10-172009https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/14870Atomic layer deposition of GdHfOx thin filmsProceedings paperhttp://dx.doi.org/10.1149/1.3205059