Donaton, R. A.R. A.DonatonCoenegrachts, BartBartCoenegrachtsMaex, KarenKarenMaexStruyf, HerbertHerbertStruyfVanhaelemeersch, SergeSergeVanhaelemeerschBeyer, GeraldGeraldBeyerRichard, EmmanuelEmmanuelRichardVervoort, IwanIwanVervoortFyen, WimWimFyenGrillaert, JoostJoostGrillaertvan der Groen, SonjaSonjavan der GroenStucchi, MicheleMicheleStucchiDe Roest, DavidDavidDe Roest2021-10-062021-10-061999https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/3428Critical issues in the integration of Copper and low-k dielectricsProceedings paper