Matova, SvetlaSvetlaMatovaElfrink, ReneReneElfrinkvan Schaijk, RobRobvan SchaijkRenaud, MichaelMichaelRenaud2021-10-172021-10-172008https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/14139Modeling and validation of AlN piezoelectric harvestersProceedings paper