Baert, KrisKrisBaertDeferm, LudoLudoDefermJansen, PhilippePhilippeJansenRosmeulen, MaartenMaartenRosmeulenvan der Groen, SonjaSonjavan der Groen2021-09-292021-09-291996https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/1065Techniques for substrate bondingProceedings paper