Leonov, VladimirVladimirLeonovVan Hoof, ChrisChrisVan HoofAltena, GeertGeertAltenaGoedbloed, MartijnMartijnGoedbloedvan Schaijk, RobRobvan Schaijk2021-10-182021-10-182010https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/17476Electret patterning technologies for microsystemsProceedings paper