Trenkler, ThomasThomasTrenklerHantschel, ThomasThomasHantschelStephenson, RobertRobertStephensonDe Wolf, PeterPeterDe WolfVandervorst, WilfriedWilfriedVandervorstHellemans, L.L.HellemansMalavé, A.A.MalavéBüchel, D.D.BüchelOesterschulze, E.E.OesterschulzeKulisch, W.W.KulischNiedermann, P.P.NiedermannSulzbach, T.T.SulzbachOhlsson, O.O.Ohlsson2021-10-142021-10-142000https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/4798Evaluating probes for "electrical" atomic force microscopyJournal article