Beyer, GeraldGeraldBeyerBaklanov, MikhaïlMikhaïlBaklanovBrongersma, SywertSywertBrongersmaDe Roest, DavidDavidDe RoestDonaton, R.R.DonatonGrillaert, JoostJoostGrillaertLanckmans, FilipFilipLanckmansMaenhoudt, MireilleMireilleMaenhoudtMaex, KarenKarenMaexRichard, EmmanuelEmmanuelRichardStruyf, HerbertHerbertStruyfStucchi, MicheleMicheleStucchiTokei, ZsoltZsoltTokeiVan Hove, MarleenMarleenVan HoveVervoort, IwanIwanVervoort2021-10-142021-10-142000https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/4117Advanced solutions for copper and low k technologyOral presentation