Stahl, H.H.StahlHoechst, A.A.HoechstFischer, F.F.FischerMetzger, L.L.MetzgerReichenbach, R.R.ReichenbachLaermer, F.F.LaermerKronmueller, S.S.KronmuellerBreitschwerdt, K.K.BreitschwerdtGunn, R.R.GunnWatcham, S.S.WatchamRusu, CristinaCristinaRusuWitvrouw, AnnAnnWitvrouw2021-10-152021-10-152003https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/8178Thin film encapsulation of acceleration sensors using polysilicon sacrificial layersProceedings paper