Gromova, MariaMariaGromovaHaspeslagh, LucLucHaspeslaghVerbist, AgnesAgnesVerbistDu Bois, BertBertDu BoisVan Hoof, RitaRitaVan HoofEyckens, BrendaBrendaEyckensSijmus, BramBramSijmusDe Wolf, IngridIngridDe WolfSimons, VeerleVeerleSimonsMuller, PhilippePhilippeMullerLauwagie, TomTomLauwagieWillegems, MyriamMyriamWillegemsLocorotondo, SabrinaSabrinaLocorotondoBoullart, WernerWernerBoullartBaert, KrisKrisBaertWitvrouw, AnnAnnWitvrouw2021-10-162021-10-162007-01https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/12230Highly reliable and extremely stable SiGe micro-mirrorsProceedings paper