Tilmans, HarrieHarrieTilmansWitvrouw, AnnAnnWitvrouwSeveri, SimoneSimoneSeveriHelin, PhilippePhilippeHelinErismis, Mehmet AkifMehmet AkifErismisHaspeslagh, LucLucHaspeslaghOp de Beeck, MaaikeMaaikeOp de BeeckSterken, TomTomSterkenRochus, VeroniqueVeroniqueRochusYazicioglu, Refet FiratRefet FiratYaziciogluDonnay, StephaneStephaneDonnayVan Hoof, ChrisChrisVan HoofRottenberg, XavierXavierRottenberg2021-10-212021-10-212013https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/23168Multi-sensors module in SiGeMEMS technologyProceedings paper