Varela Pedreira, OlallaOlallaVarela PedreiraLauwagie, TomTomLauwagieDe Coster, JeroenJeroenDe CosterHaspeslagh, LucLucHaspeslaghWitvrouw, AnnAnnWitvrouwDe Wolf, IngridIngridDe Wolf2021-10-172021-10-172008https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/14726High throughput measurement techniques for wafer level yield inspection of MEMS devicesProceedings paper