Wojcik, HenryHenryWojcikHossbach, ChristophChristophHossbachKubasch, ChristophChristophKubaschVerdonck, PatrickPatrickVerdonckBarbarin, YohanYohanBarbarinMerkel, UlrichUlrichMerkelBartha, JohannJohannBarthaHubner, ReneReneHubnerEngelmann, Hans-JurgenHans-JurgenEngelmannFriedemann, MichaelMichaelFriedemann2021-10-212021-10-2120130167-9317https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/23400Enhanced growth and Cu diffusion barrier properties of thermal ALD TaNC filmsJournal articlewww.elsevier.com/locate/mee