Brongersma, SywertSywertBrongersmaNolan, M.M.NolanVervoort, IwanIwanVervoortMaex, KarenKarenMaex2021-10-142021-10-142002https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/6070Nanoindentation on low-k dielectricsOral presentation