Op de Beeck, MaaikeMaaikeOp de BeeckRonse, KurtKurtRonseGoethals, MiekeMiekeGoethalsVandenberghe, GeertGeertVandenbergheBruggeman, B.B.BruggemanVan den hove, LucLucVan den hove2021-09-292021-09-291996https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/1400Strategies to improve linewidth control for 0.25 µm and 0.18 µm devicesJournal article