Snoeckx, KoenKoenSnoeckxBeaucarne, GuyGuyBeaucarneAgostinelli, GuidoGuidoAgostinelli2021-10-162021-10-162005-10https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/11234180-μm-Wafer erreichen 17,2 % WirkungsgradJournal article