Kamel, TalalTalalKamelElfrink, ReneReneElfrinkHohlfeld, DennisDennisHohlfeldGoedbloed, MartijnMartijnGoedbloedvan Andel, YvonneYvonnevan Andelde Nooijer, ChristineChristinede NooijerJambunathan, MadhusudhananMadhusudhananJambunathanvan Schaijk, RobRobvan Schaijk2021-10-172021-10-172009https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/15568MEMS-based aluminum nitride piezoelectric energy harvesting moduleProceedings paper