Eine Vielversprechende Technologie zur Integration von MEMS auf CMOS-Schaltungen

Van Bavel, MiekeMiekeVan BavelHermans, LouLouHermansWitvrouw, AnnAnnWitvrouw2021-10-172021-10-172008-060347-5589https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/14597Eine Vielversprechende Technologie zur Integration von MEMS auf CMOS-SchaltungenJournal articlewww.elektronikpraxis.vogel.de/themen/elektronikfertigung/mikromontagemikrosystemtechnik/articles/125562/