Delabie, AnneliesAnneliesDelabieCaymax, MattyMattyCaymaxGroven, BenjaminBenjaminGrovenHeyne, MarkusMarkusHeyneHaesevoets, KarelKarelHaesevoetsMeersschaut, JohanJohanMeersschautNuytten, ThomasThomasNuyttenBender, HugoHugoBenderConard, ThierryThierryConardVerdonck, PatrickPatrickVerdonckVan Elshocht, SvenSvenVan ElshochtHeyns, MarcMarcHeynsBarla, KathyKathyBarlaRadu, IulianaIulianaRaduThean, AaronAaronThean2021-10-222021-10-222015-10https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/25180Atomic layer deposition of 2D transition metal dichalogenidesProceedings paper