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Eine Vielversprechende Technologie zur Integration von MEMS auf CMOS-Schaltungen

dc.contributor.authorVan Bavel, Mieke
dc.contributor.authorHermans, Lou
dc.contributor.authorWitvrouw, Ann
dc.date.accessioned2021-10-17T11:31:47Z
dc.date.available2021-10-17T11:31:47Z
dc.date.issued2008-06
dc.identifier.issn0347-5589
dc.identifier.urihttps://imec-publications.be/handle/20.500.12860/14597
dc.sourceIIOimport
dc.titleEine Vielversprechende Technologie zur Integration von MEMS auf CMOS-Schaltungen
dc.typeJournal article
dc.contributor.imecauthorVan Bavel, Mieke
dc.source.peerreviewno
dc.source.journalElektronikpraxis
dc.identifier.urlwww.elektronikpraxis.vogel.de/themen/elektronikfertigung/mikromontagemikrosystemtechnik/articles/125562/
imec.availabilityPublished - imec


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