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Profilométrie des propriétés élastiques des couches minces transporentes par interférométrie acoustique ultrarapide

dc.contributor.authorMechri, C
dc.contributor.authorRuello, P
dc.contributor.authorBreteau, J.-M.
dc.contributor.authorBaklanov, Mikhaïl
dc.contributor.authorVerdonck, Patrick
dc.contributor.authorGusev, V.
dc.date.accessioned2021-10-18T18:58:06Z
dc.date.available2021-10-18T18:58:06Z
dc.date.issued2010
dc.identifier.issn1631-4670
dc.identifier.urihttps://imec-publications.be/handle/20.500.12860/17605
dc.sourceIIOimport
dc.titleProfilométrie des propriétés élastiques des couches minces transporentes par interférométrie acoustique ultrarapide
dc.typeJournal article
dc.contributor.imecauthorVerdonck, Patrick
dc.contributor.orcidimecVerdonck, Patrick::0000-0003-2454-0602
dc.source.peerreviewno
dc.source.beginpage155
dc.source.endpage173
dc.source.journalInstrumentation, Mesure, Métrologie
dc.source.issue1_2
dc.source.volume10
imec.availabilityPublished - imec


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