Mit dem Elektronenstrahl zum Mikrolinsen-Array

dc.contributor.author	Vereecke, Bart
dc.date.accessioned	2021-10-21T14:04:08Z
dc.date.available	2021-10-21T14:04:08Z
dc.date.issued	2013
dc.identifier.issn	1614-4538
dc.identifier.uri	https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/23329
dc.source	IIOimport
dc.title	Mit dem Elektronenstrahl zum Mikrolinsen-Array
dc.type	Journal article
dc.contributor.imecauthor	Vereecke, Bart
dc.date.embargo	9999-12-31
dc.source.peerreview	no
dc.source.beginpage	56
dc.source.endpage	58
dc.source.journal	Mikroproduktion. Omline Magazine für Mikrotechnik und Miniaturisierung
dc.source.issue	2
imec.availability	Published - imec