Optimalisatie en karakterisatie van PECVD siliciumoxinitridelagen - Toepassing in een dunne film multichipmodule op silicium
dc.contributor.author | Lernout, Jo | |
dc.date.accessioned | 2021-09-30T12:33:34Z | |
dc.date.available | 2021-09-30T12:33:34Z | |
dc.date.issued | 1998-11 | |
dc.identifier.uri | https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/2717 | |
dc.source | IIOimport | |
dc.title | Optimalisatie en karakterisatie van PECVD siliciumoxinitridelagen - Toepassing in een dunne film multichipmodule op silicium | |
dc.type | PHD thesis | |
dc.source.peerreview | no | |
imec.availability | Published - imec | |
imec.internalnotes | Thesis Advisor : Prof. Dr. Ir. A. Van Calster |
Files in this item
Files | Size | Format | View |
---|---|---|---|
There are no files associated with this item. |