Show simple item record

Optimalisatie en karakterisatie van PECVD siliciumoxinitridelagen - Toepassing in een dunne film multichipmodule op silicium

dc.contributor.authorLernout, Jo
dc.date.accessioned2021-09-30T12:33:34Z
dc.date.available2021-09-30T12:33:34Z
dc.date.issued1998-11
dc.identifier.urihttps://imec-publications.be/handle/20.500.12860/2717
dc.sourceIIOimport
dc.titleOptimalisatie en karakterisatie van PECVD siliciumoxinitridelagen - Toepassing in een dunne film multichipmodule op silicium
dc.typePHD thesis
dc.source.peerreviewno
imec.availabilityPublished - imec
imec.internalnotesThesis Advisor : Prof. Dr. Ir. A. Van Calster


Files in this item

FilesSizeFormatView

There are no files associated with this item.

This item appears in the following collection(s)

Show simple item record