ADEQUAT: Entwicklung und Transfer von CMOS-Logik-Prozeßmodulen

View/open

103.pdf (426.8Kb)

Metadata

Show full item record

Authors

De Keersmaecker, Roger

Journal

Mikroelektronik

Volume

8

Title

ADEQUAT: Entwicklung und Transfer von CMOS-Logik-Prozeßmodulen

Publication type

Journal article

Embargo date

9999-12-31

Collections

Articles