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De l'interet des spectroscopies électroniques pour le développement de nouveaux matériaux en microélectronique

dc.contributor.authorConard, Thierry
dc.contributor.authorFranquet, Alexis
dc.contributor.authorVandervorst, Wilfried
dc.date.accessioned2021-10-20T10:22:47Z
dc.date.available2021-10-20T10:22:47Z
dc.date.issued2012
dc.identifier.urihttps://imec-publications.be/handle/20.500.12860/20494
dc.sourceIIOimport
dc.titleDe l'interet des spectroscopies électroniques pour le développement de nouveaux matériaux en microélectronique
dc.typeProceedings paper
dc.contributor.imecauthorConard, Thierry
dc.contributor.imecauthorFranquet, Alexis
dc.contributor.imecauthorVandervorst, Wilfried
dc.contributor.orcidimecConard, Thierry::0000-0002-4298-5851
dc.contributor.orcidimecFranquet, Alexis::0000-0002-7371-8852
dc.source.peerreviewno
dc.source.conference5ème Conférence Francophone sur les Spectroscopies d'Electrons
dc.source.conferencedate22/05/2012
dc.source.conferencelocationLouvain la Neuve belgium
imec.availabilityPublished - imec


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