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Influence du procédé de dépôt de l'électrode supérieure sur la fiabilité de condensateurs ferroélectriques intégrés à base de SBT
Metadata
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Authors
Goux, Ludovic
Conference
Journées Couches Ferroélectriques - JCF
Title
Influence du procédé de dépôt de l'électrode supérieure sur la fiabilité de condensateurs ferroélectriques intégrés à base de SBT
Publication type
Oral presentation
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