Publication:
Actionneurs électrostatiques pour les MEMS
Date
| dc.contributor.author | Rottenberg, Xavier | |
| dc.contributor.imecauthor | Rottenberg, Xavier | |
| dc.contributor.orcidimec | Rottenberg, Xavier::0000-0003-0920-1709 | |
| dc.date.accessioned | 2021-10-16T19:12:19Z | |
| dc.date.available | 2021-10-16T19:12:19Z | |
| dc.date.issued | 2007 | |
| dc.identifier.uri | https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/12809 | |
| dc.source.conference | Troisième Journée du GT "Manipulation multi-échelle" | |
| dc.source.conferencedate | 28/09/2007 | |
| dc.source.conferencelocation | Marseille France | |
| dc.title | Actionneurs électrostatiques pour les MEMS | |
| dc.type | Oral presentation | |
| dspace.entity.type | Publication | |
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