Publication:
Mit dem Elektronenstrahl zum Mikrolinsen-Array
Date
| dc.contributor.author | Vereecke, Bart | |
| dc.contributor.imecauthor | Vereecke, Bart | |
| dc.date.accessioned | 2021-10-21T14:04:08Z | |
| dc.date.available | 2021-10-21T14:04:08Z | |
| dc.date.embargo | 9999-12-31 | |
| dc.date.issued | 2013 | |
| dc.identifier.issn | 1614-4538 | |
| dc.identifier.uri | https://imec-publications.be/handle/20.500.12860/23329 | |
| dc.source.beginpage | 56 | |
| dc.source.endpage | 58 | |
| dc.source.issue | 2 | |
| dc.source.journal | Mikroproduktion. Omline Magazine für Mikrotechnik und Miniaturisierung | |
| dc.title | Mit dem Elektronenstrahl zum Mikrolinsen-Array | |
| dc.type | Journal article | |
| dspace.entity.type | Publication | |
| Files | Original bundle
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